申请/专利权人：北京七星华创流量计有限公司

申请日：2020-09-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112000139B

主分类号：G05D7/06

分类号：G05D7/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2020.12.15#实质审查的生效;2020.11.27#公开

摘要：本实施例提供一种气体质量流量控制器及故障自检方法，该气体质量流量控制器包括电磁阀、用于调节电磁阀的开度的电磁阀控制模块、用于向电磁阀控制模块提供驱动电能的电磁阀驱动电路、故障自检模块和控制模块，控制模块用于根据预设的流量设定值，控制电磁阀控制模块将电磁阀的开度调节至与流量设定值对应的开度值，且接收由电磁阀控制模块反馈的与该开度值对应的电磁阀的当前驱动参数值，并发送至故障自检模块；故障自检模块用于基于当前驱动参数值和与开度值对应的预设的标准驱动参数值，计算获得气体质量流量控制器的故障发生率。本实施例提供的气体质量流量控制器及故障自检方法的技术方案，可以实时进行流量精度和设备故障等的自检测。

主权项：1.一种气体质量流量控制器，其特征在于，包括电磁阀、用于调节所述电磁阀的开度的电磁阀控制模块、用于向所述电磁阀控制模块提供驱动电能的电磁阀驱动电路、故障自检模块和控制模块，其中，所述控制模块用于根据预设的流量设定值，控制所述电磁阀控制模块将所述电磁阀的开度调节至与所述流量设定值对应的开度值，且接收由所述电磁阀控制模块反馈的与所述开度值对应的所述电磁阀的当前驱动参数值，并发送至所述故障自检模块；所述故障自检模块用于基于所述当前驱动参数值和与所述开度值对应的预设的标准驱动参数值，计算获得所述气体质量流量控制器的故障发生率；所述气体质量流量控制器还包括温度检测模块和温度补偿模块，其中，所述温度检测模块用于检测被控管路中的与所述开度值对应的当前流体温度值，并发送至所述温度补偿模块；所述温度补偿模块用于根据所述当前流体温度值、所述当前驱动参数值和预设的标准温度值，对所述当前驱动参数值进行温度补偿，获得补偿后的所述当前驱动参数值，并发送至所述故障自检模块；所述故障自检模块用于基于补偿后的所述当前驱动参数值和所述标准驱动参数值，计算获得所述气体质量流量控制器的故障发生率；所述流量设定值为N个，N为大于1的整数，且N个所述流量设定值的大小不同，且与N个不同的所述电磁阀的开度值一一对应；N个所述电磁阀的开度值与N个所述标准驱动参数值一一对应；所述故障自检模块用于采用下述公式计算获得所述气体质量流量控制器的故障发生率： 其中，F1i为第i个补偿后的所述当前驱动参数值；F2i为第i个标准驱动参数值；Di为第i个加权系数；E为所述气体质量流量控制器的故障发生率。

全文数据：

权利要求：

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