申请/专利权人：广东海洋大学

申请日：2023-11-02

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117470288B

主分类号：G01D5/353

分类号：G01D5/353;G01D21/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本发明公开膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法，包括以下步骤：S1，加工圆盘，在圆盘一侧周向固定若干支撑柱，在圆盘上开设若干通孔，对圆盘进行装夹定位；S2，在通孔内均插入准直套管，并对准直套管粘接固定；S3，对固定有准直套管的圆盘置超声清洗，之后取出烘干；S4，加工膜片，对膜片其中一个面打磨抛光，抛光后的膜片光胶在支撑柱，且抛光面与准直套管接触，之后对膜片另一个面进行打磨形成磨砂面；S5，设置激光焊接圆形路径的半径，依次将所有的准直套管分别与膜片焊接；S6，在准直套管内壁分别进行固定光纤、光纤上刻写FBG操作；S7，对准直套管进行下盘操作，清洗烘干，完成传感结构的加工。

主权项：1.膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，加工圆盘1，在圆盘1一侧周向固定若干支撑柱3，在圆盘1上开设若干通孔2，之后对圆盘1进行装夹定位；S2，在通孔2内均插入准直套管5，并对准直套管5粘接固定，对准直套管5和支撑柱3的端部分别进行抛光处理；S3，对固定有准直套管5的圆盘1置超声清洗，之后取出烘干；S4，加工膜片，对膜片其中一个面打磨抛光，抛光后的膜片光胶在支撑柱3，且抛光面与准直套管5接触，之后对膜片另一个面进行打磨形成磨砂面；S5，将圆盘1放置在激光器下方，磨砂面向上，设置激光焊接圆形路径的半径，依次将所有的准直套管5分别与膜片焊接；S6，在准直套管5内壁分别进行固定光纤、光纤上刻写FBG操作，依次作业，完成所有准直套管5的加工；S7，对准直套管5进行下盘操作，并对准直套管5清洗烘干，完成传感结构的加工；所述S1中，圆盘1加工的具体过程包括以下步骤：S11，打磨，将玻璃材料打磨加工成厚度为10mm、直径为150mm的圆形结构，并对两面进行打磨整平；S12，抛光，圆盘1两面整平之后对两面分别进行抛光处理，保证两面光洁度为2010；S13，在圆盘1中心开设装夹孔4，并将支撑柱3固定在圆盘1上；S14，在圆盘1上沿半径线方向同轴且等间距设置若干路径线，在路径线分别上开设所述通孔2，所述通孔2圆心位于圆盘1的半径线上，且每条半径线上仅设置一个圆孔，相邻所述圆孔对应半径线之间的夹角为1.5°-5°；S15，通过夹具对圆盘1定位；所述S6中，光纤固定、刻写FBG包括以下步骤：S61，调整圆盘1角度，使圆盘1轴线水平；S62，将光纤从准直套管5远离膜片一端插入；S63，调节飞秒激光的焦点位置，利用飞秒激光融化准直套管5内壁材料实现光纤粘连，之后再次利用飞秒激光在固定区域刻写一个FBG，最后在准直套管5对光纤进行固定焊接，即可完成单个准直套管5的加工,利用飞秒激光融化准直套管5内壁材料的同时，向准直套管5内推送光纤，确保FBG在两个固定点之间处于松弛状态，之后飞秒激光熔融准直套管5内壁粘住光纤完成光纤固定；S64，旋转圆盘1依次完成所有准直套管5的加工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东海洋大学 膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法

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