申请/专利权人：湖南麓星光电科技有限公司

申请日：2022-02-18

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114706153B

主分类号：G02B5/20

分类号：G02B5/20;G02B5/28;C23C14/06;C23C14/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.07.22#实质审查的生效;2022.07.05#公开

摘要：本发明公开了一种10.6μm波长超窄带滤光片及其制备方法。在基底表面通过离子溅射镀膜方式交替镀制碳化硼膜层和氟化锶膜层，即得10.6μm波长超窄带滤光片。该超窄带滤光片的中心波长为10600nm，带宽为16～54nm，峰值透射率大于等于98％，截止区最大透射率小于1％，且镀膜层结构具有密度低、强度高、高温稳定性以及化学稳定性好等特点，赋予滤光片较好的硬度和耐磨性，能够延长其使用寿命。

主权项：1.一种10.6μm波长超窄带滤光片，其特征在于：由基底及其表面的膜系构成；所述膜系由H层和L层交替叠加构成；所述膜系结构为：SubHL^nH2LHLH^nLa1Ha2LAir；其中，Sub表示基底；Air表示空气；H表示四分之一波长光学厚度的碳化硼膜层；L表示四分之一波长光学厚度的氟化锶膜层；n表示HL的重复次数，n取值2～6之间;a1～a2表示膜系的中心波长位置为膜系中心波长λ的倍数，取值0～2之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南麓星光电科技有限公司 一种10600nm波长超窄带滤光片及其制备方法

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