申请/专利权人：昆山晟成光电科技有限公司

申请日：2024-01-24

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117615593B

主分类号：H10K30/88

分类号：H10K30/88;H10K71/40;H10K71/00;H10K30/40;H10K30/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明属于金属钝化处理技术领域，涉及一种大面积钙钛矿电池氧化镍空穴传输层钝化方法，步骤包括：S1、通过溅射镀膜方式在基板的表面沉积NiOx薄膜；S2、对NiOx薄膜的表面进行等离子处理；S3、将酸性溶液滴入退火炉中，加热至100‑150℃，使其完全挥发，形成微酸性氛围；S4、将含有NiOx薄膜的基板送入退火炉中退火，退火炉升温至300‑600℃，保温30‑80min，然后冷却。本方法能够应用普通的退火炉制造酸性氛围，从而完成氧化镍薄膜表面的钝化操作，不仅节省了试剂、能量和设备成本，而且获得了更好的表面形貌、表面浸润性和透过率，基于钝化后氧化镍薄制备的钙钛矿电池获得了具有低缺陷密度的界面，进而有效提高了钙钛矿电池的开路电压及光电转化效率。

主权项：1.一种大面积钙钛矿电池氧化镍空穴传输层钝化方法，其特征在于，步骤包括：S1、通过溅射镀膜方式在基板的表面沉积NiOx薄膜；S2、对NiOx薄膜的表面进行等离子处理；S3、将酸性水溶液滴入退火炉中，加热至100-150℃，使其完全挥发，形成微酸性氛围；S4、将含有NiOx薄膜的基板送入退火炉中退火，退火炉升温至300-600℃，保温30-80min，然后冷却。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山晟成光电科技有限公司 一种大面积钙钛矿电池氧化镍空穴传输层钝化方法

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