申请/专利权人：山东理工大学

申请日：2024-03-18

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117900916A

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;B24B31/10;B24B31/12;B24B57/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及精密与超精密加工领域，针对现有晶圆边缘倒角后出现的尖角、割裂、划痕、毛刺等瑕疵，特别公开了一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法，所述装置包括机床、真空吸盘、磁场发生装置、介质循环装置。所述晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置通过改变三组磁极的排布方式，可在抛光区域内形成多种可控的耦合磁场，结合高性能磁性剪切增稠抛光介质，实现对不同尺寸和角度要求的晶圆边缘抛光。

主权项：1.一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述装置包括机床（1-1）、真空吸盘（1-2）、磁场发生装置（1-3）、介质循环装置（1-4），所述磁场发生装置（1-3）包括下磁极轮电机（2-1）、长传动轴（2-2）、空心齿轮轴（2-3）、左磁极轮磁极（2-4）、下磁极轮磁极（2-5）、右磁极轮磁极（2-6）、短传动轴（2-7）、右磁极轮电机（2-8）、右磁极轮（2-9）、下磁极轮（2-10）、左磁极轮（2-11）、左磁极轮电机（2-12）、外壳（2-13），所述下磁极轮电机（2-1）通过长传动轴（2-2）利用花键键槽配合与下磁极轮（2-10）相连接，所述左磁极轮磁极（2-4）装在左磁极轮（2-11）内部的凹槽中，所述右磁极轮电机（2-8）通过短传动轴（2-7）利用花键键槽配合与右磁极轮（2-9）相连接，所述右磁极轮磁极（2-6）装在右磁极轮（2-9）内部的凹槽中，所述左磁极轮电机（2-12）使用齿轮与空心齿轮轴（2-3）的轮齿啮合，所述空心齿轮轴（2-3）与左磁极轮（2-10）连接，所述空心齿轮轴（2-3）通过内部嵌套滑动轴承的方式固定在长转动轴（2-2）上，所述下磁极轮磁极（2-5）装在下磁极轮（2-10）内部的凹槽中，所述介质循环装置（1-4）固定于下磁极轮（2-10）下方的中空位置，所述磁场发生装置（1-3）和介质循环装置（1-4）通过外壳（2-13）进行支撑，并将外壳（2-13）固定连接在机床（1-1）的运动平台上，晶圆（1-5）通过真空吸盘（1-2）装夹于机床（1-1）的主轴上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东理工大学 一种晶圆边缘多磁极磁场可控磁性剪切增稠抛光装置及方法

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