申请/专利权人：奥路丝科技有限公司

申请日：2023-06-14

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117908333A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20221017 KR 10-2022-0133289"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及一种套刻测量装置、方法及其系统。为此，根据本发明一实施例的套刻测量装置，包括：收发部；以及与所述传输接收部电连接的处理器，所述处理器配置为：获取用户终端通过所述收发部传输的数据；对包括在所述数据中的配方进行分析；当完成针对所述配方的分析时，基于所述配方执行与晶圆的测定选项相关的优化过程。

主权项：1.一种套刻测量装置，其中，包括：收发部；以及处理器，与所述收发部电连接，所述处理器配置为：获取用户终端通过所述收发部传输的数据；对包括在所述数据中的配方进行分析；当完成针对所述配方的分析时，基于所述配方执行与晶圆的测定选项相关的优化过程。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奥路丝科技有限公司 套刻测量装置、方法及其系统和程序

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD