申请/专利权人：广东先导微电子科技有限公司

申请日：2024-03-05

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117904455A

主分类号：C22B30/04

分类号：C22B30/04;C22B9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明公开了一种高纯砷的制备方法，属于金属加工领域。该方法以含铁杂质较高的砷残次品为原料，通过在水平炉中以特定加热处理工序进行杂质尤其是铁杂质的高效去除，不仅可使制备的产品铁含量降低至0.5ppb以下，除杂效率高；同时该方法产率较高，可达到95％以上，经济性价比高。

主权项：1.一种高纯砷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1设置一水平放置的两端开口的第一石英管，将其中一端密封并连接排气管道，并在另一端放置含砷原料并连接通气管道；2连通通气管道并通入惰性气氛，同时在含砷原料位置段加热至340～360℃保温2～4h；3连通通气管道并通入氢气气氛，维持气氛流量为50～300Lh并将含砷原料位置段加热至580～620℃保温6～10h，收集第一石英管中密封端所得固相物；4设置与第一石英管相同的第二石英管，将固相物放置在连通通气管道的一端，连通通气管道并通入惰性气氛，维持气氛流量为80～120Lh并将含砷原料位置段加热至614～616℃保温2.5～3.5h；5收集第二石英管中密封端所得高纯砷。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东先导微电子科技有限公司 一种高纯砷的制备方法

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