申请/专利权人:应用材料公司
申请日:2022-09-06
公开(公告)日:2024-04-19
公开(公告)号:CN117916404A
主分类号:C23C16/44
分类号:C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458
优先权:["20210909 US 17/470,294"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开
摘要:本文提供了用于涂覆处理反应器部件零件的方法及设备。在一些实施方式中,零件涂覆反应器包括:下主体及盖组件,所述下主体及所述盖组件共同限定及包围内部容积;一或更多个加热器,所述一或更多个加热器设置在所述盖组件中;一或更多个冷却剂通道,所述一或更多个冷却剂通道设置在所述盖组件中,以使传热介质流动通过所述冷却剂通道;多个气体通路,所述多个气体通路设置为穿过所述盖组件,以便于向内部容积提供一或更多种气体,其中所述多个气体通路包括设置在盖组件中的多个流体独立的气室;及一或更多个安装支架,以促进将工件耦接到盖组件。
主权项:1.一种零件涂覆反应器,包括:下主体及盖组件,所述下主体及所述盖组件共同限定且包围内部容积;一或更多个加热器,所述一或更多个加热器设置在所述盖组件中;一或更多个冷却剂通道,所述一或更多个冷却剂通道设置在所述盖组件中,以使传热介质流动通过所述一或更多个冷却剂通道;多个气体通路,所述多个气体通路设置为穿过所述盖组件,以促进向所述内部容积提供一或更多种气体,其中所述多个气体通路包括设置在所述盖组件中的多个流体独立的气室;及一或更多个安装支架,以促进将工件耦接到所述盖组件。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 应用材料公司 原子层沉积零件涂覆腔室
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