申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2022-10-11

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117913014A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本公开提供一种承载装置及退火设备，涉及半导体技术领域，用于解决晶圆取放不便，且易出现弯曲、变形、破裂的技术问题。该承载装置具有承载区和非承载区，承载区设置有多个气孔，以供气体进入形成气垫，气垫用于支撑待支撑件；非承载区设置有机械手臂，机械手臂配置为：当气孔停止进气后，待支撑件降落至承载区，机械手臂将待支撑件从承载区支起。通过气垫支撑待支撑件，从而避免待支撑件与承载装置接触，可以使得待支撑件受热均匀，减少待支撑件弯曲、变形，甚至破裂，从而提高半导体器件的良率；在非承载区设置有机械手臂，通过机械手臂将待支撑件支起和放下，便于待支撑件的取放。

主权项：1.一种承载装置，其特征在于，所述承载装置具有承载区和非承载区，所述承载区设置有多个气孔，以供气体进入形成气垫，所述气垫用于支撑待支撑件；所述非承载区设置有机械手臂，所述机械手臂配置为：当所述气孔停止进气后，所述待支撑件降落至所述承载区，所述机械手臂将所述待支撑件从所述承载区支起。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 承载装置及退火设备

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