申请/专利权人：深圳市中金岭南有色金属股份有限公司韶关冶炼厂

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117901281A

主分类号：B28D5/00

分类号：B28D5/00;B24B9/16;B24B49/04;H01L21/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明属于磷化铟加工技术领域，特别涉及一种磷化铟单晶的加工方法和应用。本发明的磷化铟单晶的加工方法包括以下步骤：1对磷化铟单晶进行头尾切断，并对切断后的磷化铟单晶进行角度调整；2对经过角度调整的磷化铟单晶的头、尾取测试样片，确定单晶的晶胞方向，并对测试样片进行性能测试，得到性能合格的磷化铟单晶；并对性能合格的磷化铟单晶进行定向操作，并对定向后的单晶进行粘接、切片，得到晶片；4按照直径尺寸对晶片进行分类，并采用解理法制作参考面，激光割圆，完成磷化铟单晶的加工。本发明不受晶体形状及晶向角度影响，可提高参考面的精度，保证加工精度，进而有效提高单晶的出片面积，降低加工耗损，避免浪费。

主权项：1.一种磷化铟单晶的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1对磷化铟单晶进行头尾切断，并对切断后的磷化铟单晶进行角度调整；2对步骤1所得的经过角度调整的磷化铟单晶的头部、尾部取测试样片，确定单晶的晶胞方向，并对所述测试样片进行性能测试，得到性能合格的磷化铟单晶；3对步骤2所得的磷化铟单晶进行定向操作，并对定向后的单晶进行粘接、切片，得到晶片；4对步骤3所得的的晶片按照直径进行尺寸分类，对分类后的晶片采用解理法制作参考面，然后激光割圆，完成磷化铟单晶的加工；其中，步骤2中，所述性能合格的标准如下：电阻率：0.5-2.5×10-3ohm·m；位错密度：平均值≤500cm2；载流子浓度：0.4-8×1018cm-2；电子迁移率：≥1000cm2v·s。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市中金岭南有色金属股份有限公司韶关冶炼厂 一种磷化铟单晶的加工方法和应用

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