申请/专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司

申请日：2024-01-17

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117907633A

主分类号：G01P15/125

分类号：G01P15/125;G01P15/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明提供一种加速度传感器，包括基底、第一锚点、内侧质量单元、外侧质量单元、第一跷跷板单元、第二跷跷板单元、第一加速度检测单元和第二加速度检测单元；所述第一锚点固定于所述基底的中部；所述内侧质量单元环绕所述第一锚点的外侧，所述外侧质量单元环绕所述内侧质量单元的外侧；所述第一跷跷板单元与所述第二跷跷板单元相对设置，且两者围合构成环形结构；所述环形结构环绕所述外侧质量单元的外侧；至少部分所述第一加速度检测单元设置于所述环形结构，用于检测沿面外Z轴方向的加速度；第二加速度检测单元设置于所述外侧质量单元，用于检测沿面内X轴方向以及面内Y轴方向的加速度。本发明的一个技术效果在于，设计合理，灵敏度更高。

主权项：1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：基底和第一锚点，所述第一锚点固定于所述基底的中部；内侧质量单元和外侧质量单元，所述内侧质量单元环绕所述第一锚点的外侧并与所述第一锚点弹性连接，所述外侧质量单元环绕所述内侧质量单元的外侧并与所述内侧质量单元弹性连接；第一跷跷板单元和第二跷跷板单元，所述第一跷跷板单元与所述第二跷跷板单元相对设置，且两者围合构成环形结构；所述环形结构环绕所述外侧质量单元的外侧并与所述外侧质量单元弹性连接；第一加速度检测单元和第二加速度检测单元，至少部分所述第一加速度检测单元设置于所述环形结构，用于检测沿面外Z轴方向的加速度；第二加速度检测单元设置于所述外侧质量单元，用于检测沿面内X轴方向以及面内Y轴方向的加速度；所述面外Z轴方向、所述面内X轴方向以及所述面内Y轴方向两两相互垂直。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 一种加速度传感器

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