申请/专利权人：EV集团E·索尔纳有限责任公司

申请日：2021-10-19

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117916873A

主分类号：H01L21/78

分类号：H01L21/78;H01L23/544

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及一种用于产生及准备电子组件的方法及装置。

主权项：1.一种用于产生及准备电子组件4的方法，其至少具有按以下顺序的以下步骤：i准备具有第一基板表面1o及第二基板表面1u的第一基板1，ii在所述第一基板表面1o上实施表面处理13，且接着iii在所述经处理的第一基板表面1o上涂覆保护层2，iv将所述基板1分割成组件4。

全文数据：

权利要求：

百度查询： EV集团E·索尔纳有限责任公司 产生及准备电子组件的方法及装置

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