申请/专利权人：武汉大学

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117906745A

主分类号：G01H11/02

分类号：G01H11/02;G01H11/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明公开了一种基于磁电机械自平衡与微电子耦合的全频振动传感器，所述传感器包括，包括低频检测单元和高频检测单元，所述低频检测单元包括电磁线圈、永磁体、控制电路、第一极板、第二极板与永磁体连接形成的振子，工作时，电磁线圈产生磁场将永磁体排斥使得振子悬浮平衡，第一极板和第二极板构成平行板电容器，当存在低频振动时控制电路控制电磁线圈从而保持振子保持悬浮平衡；所述高频检测单元包括MEMS芯片。本发明振子位置保持在初始的平衡位置，对于低频大位移振动测量效果佳，还有MEMS芯片检测高频振动，避免了常规检测全频振动时需要使用两套设备存在的容易丢失相位信息，对故障诊断形成巨大障碍的问题。

主权项：1.一种基于磁电机械自平衡与微电子耦合的全频振动传感器，其特征在于，包括低频检测单元和高频检测单元，所述低频检测单元包括电磁线圈、永磁体、控制电路、第一极板、第二极板与永磁体连接形成的振子，工作时，电磁线圈产生磁场将永磁体排斥使得振子悬浮平衡，第一极板和第二极板构成平行板电容器，当存在低频振动时控制电路控制电磁线圈从而保持振子保持悬浮平衡；所述高频检测单元包括MEMS芯片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉大学 一种基于磁电机械自平衡与微电子耦合的全频振动传感器

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