申请/专利权人：杭州福斯特电子材料有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117908331A

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/027

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明提供了一种感光树脂组合物及干膜抗蚀剂。以重量份计，该感光树脂组合物包括：40～65份的碱溶性树脂、30～55份的光聚合单体、2～4.5份的光引发剂、0.01～0.5份的维生素B族化合物及其衍生物以及0.1～5份的添加剂。其中，维生素B族及其衍生物有助于提升干膜抗蚀剂的耐电镀或蚀刻性能。此外，若维生素B族及其衍生物的添加含量过低，则无法起到良好地提升附着性能的作用，在进行电镀工艺时容易渗镀，易使得印刷电路有短路问题。若维生素B族及其衍生物的含量过高，易造成感光树脂的交联度过高、线路分辨率降低的问题，因此，本申请优选以上添加量的维生素B族及其衍生物，有助于得到综合性能更优良的干膜抗蚀剂。

主权项：1.一种感光树脂组合物，以重量份计，所述感光树脂组合物包括：40～65份的碱溶性树脂；30～55份的光聚合单体；2～4.5份的光引发剂；0.01～0.5份的维生素B族化合物及其衍生物；以及0.1～5份的添加剂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州福斯特电子材料有限公司 感光树脂组合物及干膜抗蚀剂

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