申请/专利权人：广州市尤特新材料有限公司

申请日：2024-03-19

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117902880A

主分类号：C04B35/01

分类号：C04B35/01;C04B35/622;C04B35/63;C04B35/632;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及ITO靶材技术领域，具体公开了一种具有高透明性的ITO靶材，所述ITO靶材为氧化铟：氧化锡按照重量比99:1配比制成。本发明ITO靶材采用氧化铟、氧化锡配制制成，通过改性液超声改性浸润处理，改性液中的柠檬酸钠溶液、硅烷偶联剂、硝酸钇溶液和改性羟基磷灰石相互调配，共同优化靶材基体，同时采用的羟基磷灰石经过纳米硅溶胶、硬脂酸和硝酸镧溶液、纳米二氧化钛等原料共同球磨改进，从而得到的改性羟基磷灰石配合得到的改性液改进的靶材能够实现产品的透光性能、导电性的协调改进。

主权项：1.一种具有高透明性的ITO靶材，其特征在于，所述ITO靶材为氧化铟：氧化锡按照重量比99:1配比制成；所述具有高透明性的ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：将氧化铟、氧化锡混匀充分，然后于改性液中浸入改性处理，最后水洗、干燥，将干燥产物于1150-1250℃下热烧结1-2h，烧结结束，以2-5℃min速率冷却至210-230℃，保温5-10min，最后再以1-3℃min速率空冷至室温，即可；浸入改性处理的操作步骤为：向6-10份质量分数10%的柠檬酸钠溶液中加入2-5份硅烷偶联剂，随后再加入1-3份硝酸钇溶液和2-4份改性羟基磷灰石，搅拌充分，得到改性液；将ITO靶材浸入足量的改性液中超声改性处理，超声功率为350-400W，超声时间为15-20min，超声结束，水洗、干燥，即可；改性羟基磷灰石的改性方法为：将羟基磷灰石先于足量的质量分数5%的高锰酸钾溶液中搅拌混匀充分，最后水洗、干燥，然后将6-10份羟基磷灰石、1-3份纳米硅溶胶、2-4份硬脂酸和5-7份硝酸镧溶液、0.25-0.30份纳米二氧化钛于球磨机中球磨处理，球磨结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州市尤特新材料有限公司 一种具有高透明性的ITO靶材及其制备方法

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