申请/专利权人：江苏时代华宜电子科技有限公司

申请日：2021-12-29

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN114392966B

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;C23G1/02;C23G3/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.05.13#实质审查的生效;2022.04.26#公开

摘要：钼合金基片自动清洗方法，涉及钼合金基片清洗领域。将钼合金基片放入通过酸性电解形成氧化层，然后冲洗干净；将钼合金基片通过第一酸洗槽内的混合酸液除去氧化层，酸洗除膜结束后冲洗干净；将钼合金基片放入双氧水溶液中浸泡处理，形成氧化层，然后再冲洗干净；将钼合金基片放入第二酸洗槽内的混合酸液除去氧化层，酸洗除膜结束后再冲洗干净，得到清洗完成的钼合金基片。该方法通过电解和双氧水两道氧化工序配合酸洗工序使得清洗更加彻底。酸性电解溶液浓度可控，使得钼合金基片的表面粗糙度性控制在10％以内，精度大大提高。钼合金基片自动清洗设备将人工清洗改成自动清洗，清洗效率提高了20％。

主权项：1.钼合金基片自动清洗设备，其特征在于，包括清洗槽以及架设于清洗槽组上方的滑台模组，所述滑台模组的滑台固定安装有用于固定钼合金基片的放置架，所述清洗槽组包括依次设置的电解槽组、第一酸洗槽组、双氧水槽组、第二酸洗槽组；所述滑台模组的驱动端与控制器电性连接；所述电解槽组包括依次设置的电解槽、喷淋槽、第一水洗槽、第二水洗槽；所述电解槽用于盛装电解液，所述喷淋槽内配置有自动喷淋设备，第一水洗槽、第二水洗槽都用于盛装自来水，且所述第一水洗槽和所述第二水洗槽管道连通，水流从所述第二水洗槽注入所述第一水洗槽，在从第一水洗池流出；所述第一酸洗槽组包括依次设置的第一酸洗槽以及喷淋槽；所述第一酸洗槽用于盛装混合酸液，所述喷淋槽内配置有自动喷淋设备；所述双氧水槽组包括依次设置的双氧水槽和水洗槽，所述双氧水槽用于盛装双氧水溶液，所述水洗槽用于盛装自来水；所述第二酸洗槽组包括依次设置的第二酸洗槽、喷淋槽、以及多个水洗槽；所述第二酸洗槽用于盛装混合酸液，所述喷淋槽内配置有自动喷淋设备；所述多个水洗槽内固定安装有加热设备，所述多个水洗槽中第一个水洗槽设置于所述喷淋槽旁，所述多个水洗槽之间通过管道连通，水流从最后一个水洗槽注入并从管道依次至下一个水洗槽直至到第一个水洗槽，然后从第一个水洗槽流出；钼合金基片自动清洗设备的清洗方法，包括以下步骤：S1：将钼合金基片放入所述电解槽内中进行电解并在所述钼合金基片表面形成氧化层，电解完成后依次放置于电解槽组中的喷淋槽和两个电解水洗槽内冲洗干净；S2：将钼合金基片放入所述第一酸洗槽内的混合酸液进行表面除去氧化层，酸洗除膜结束后再放置于第一酸洗槽组的喷淋槽内冲洗干净；S3：将钼合金基片放入所述双氧水槽内进行双氧水溶液中浸泡处理，在钼合金基片表面形成氧化层，浸泡完成后再放置于双氧水槽组的水洗槽内冲洗干净；S4：将钼合金基片所述第二酸洗槽内的混合酸液进行表面除去氧化层，酸洗除膜结束后再依次放置于第二酸洗槽组的喷淋槽内以及水洗槽内冲洗干净，得到清洗完成的钼合金基片。

全文数据：

权利要求：

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