申请/专利权人：西安中科微星光电科技有限公司

申请日：2022-01-12

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN114354140B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.05.03#实质审查的生效;2022.04.15#公开

摘要：一种透射式空间光调制器相位和振幅调制特性的测量方法，包括如下步骤：S1、搭建光路，使激光通过双缝分别与空间光调制器不同区域调制；S2、通过图像采集双缝干涉光路，提取得到干涉条纹曲线；S3、采用相位模型转换计算出灰度相位曲线；S4、通过计算图像对比度，得到分别通过双缝间的光强差异，得到振幅调制效果；本发明无需其他光学器件，利用激光和CCD，在调制器上加载双缝图案即可测得对应的相位与振幅调制特性，此方式相较于利用反射镜生成参考波来干涉的方式，最大特点在于不需要参考波，利用双缝干涉完成相位和振幅的标定。

主权项：1.一种透射式空间光调制器相位和振幅调制特性的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、搭建光路，使激光通过双缝分别与空间光调制器不同区域调制；S2、通过图像采集双缝干涉光路，提取得到干涉条纹曲线；S3、采用相位模型转换计算出灰度相位曲线；S4、通过计算图像对比度，得到分别通过双缝间的光强差异，得到振幅调制效果；振幅测量基于干涉光强与条纹对比度的原理，当两束光强和一致时，干涉条纹对比度最大，当一束光强发生变化，条纹对比度会下降，关系式为： ；相位测量基于光程差与相位之间的原理，当其中一缝光相位改变，双缝干涉的条纹则会出现平移，即满足下列关系式： 其中，∧为相邻两条干涉条纹之间的距离，为相位调制量；为条纹偏移量；以灰度值为0的干涉条纹位置为基准，灰度值为255的条纹位置与基准位置的偏移量量为，两条干涉条纹之间的距离为∧；提取多行灰度值数据平均化以减小误差，得到中心条纹的位置和光斑中心光强极大值与旁侧极小值之间的对比度K1： ；改变空间光调制器上的双缝灰度，CCD采集到的干涉条纹发生移动，双缝中其中一条缝光强发生变化；得到新的中心条纹位置和光强对比度K2： ；根据前后两次中心条纹位置相减得到条纹移动量，代入公式 可以得到相位调制量，根据K1、K2可以得到,即光强的对比度，得到振幅调制的特性。

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权利要求：

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