申请/专利权人：东友精细化工有限公司

申请日：2021-04-21

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN113637162B

主分类号：C08G73/06

分类号：C08G73/06;C08L79/04

优先权：["20200511 KR 10-2020-0055781"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2021.11.30#实质审查的生效;2021.11.12#公开

摘要：本发明公开了一种包含有特定结构的重复单元的聚合物、以及包括该聚合物的硬掩膜用组合物。

主权项：1.一种聚合物，包括选自由下述化学式1-1至化学式1-8组成的组的任一种表示的重复单元：[化学式1-1] [化学式1-2] [化学式1-3] [化学式1-4] [化学式1-5] [化学式1-6] [化学式1-7] [化学式1-8] 在所述化学式1-1至化学式1-8中，n为1至100的整数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东友精细化工有限公司 聚合物以及包含该聚合物的硬掩膜用组合物

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