申请/专利权人：山西太钢不锈钢精密带钢有限公司

申请日：2022-08-18

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN115305331B

主分类号：C21D8/02

分类号：C21D8/02;B21B37/58;C21D1/30;C21D1/74;C21D9/52;C21D11/00;C23C14/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.11.25#实质审查的生效;2022.11.08#公开

摘要：本发明涉及一种低膨胀合金产品的制备方法，一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，包括成品轧程控制、清洗、拉矫、TA热处理。4J36成品轧程变形率控制在50‑70%，成品厚度≤0.05mm，厚度公差±0.002mm，清洗矫直后经TA卧式炉进行去应力退火处理，退火温度600‑700℃，退火工艺速度5‑10mmin。低膨胀合金4J36经去应力后可应用于OLED金属掩膜板生产，其经工艺半蚀刻后不产生蚀孔变形或翘曲等问题，满足金属掩膜板生产需求。该工艺技术开发将打破国外金属掩膜板基材垄断，为OLED国产化提供技术支撑。

主权项：1.一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：成品轧制：对4J36进行精密轧制，成品轧程变形率为50%-70%，4J36成品厚度≤0.05mm，厚度公差控制在±0.002mm；步骤二：清洗：成品轧制后使用化学喷洗液清洗带钢表面进行脱脂，化学喷洗液为化学喷洗液碱性脱脂剂，浓度配置为3-5%，依次经预喷淋、刷洗机和高压喷淋，预喷淋、刷洗机和高压喷淋水箱的水温均为60-80℃，经烘干机烘干后表面洁净无轧制油残留；步骤三：拉矫：经过清洗后进行板型拉矫，超薄料采用张力模式，拉矫后板型平直，无明显轧制浪；步骤四：热处理：对拉矫后的4J36进行退火热处理，退火温度600-700℃，退火工艺速度5-10mmin；步骤一中进行轧制所述4J36采用四立柱二十辊轧机精密轧制；步骤一中成品轧程变形率的控制采用成品道次采用3-5道次，第一道次变形量控制在22～35%之间，中间道次变形量控制在10～20%之间，成品道次变形量控制在7～15%之间的方式；步骤三中矫直采用二十三辊拉矫机，卷取采用厚壁钢套筒，壁厚100-150mm；步骤四中热处理采用卧式TA退火炉进行钢带的张力退火；步骤四中加热炉的张力大于等于100kg时，所述加热炉采用张力辊模式；当加热炉的张力小于100kg时，所述加热炉采用弹跳辊模式；炉内气氛采用全氢或全氮气保护性气氛，其中采用全氢保护性气氛时氢气纯度不低于99.999％，氢气的露点不高于-60℃；采用全氮气保护性气氛时氮气纯度不低于99.99％，氮气露点不高于-50℃。

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