申请/专利权人：昆明理工大学

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117313535B

主分类号：G06F30/27

分类号：G06F30/27;C30B29/40;G06N5/048;G06N7/06;G06F119/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开

摘要：本发明公开了一种基于智能控制算法，能够根据实时数据分析和预测，自动调整温度，实现优化的温度控制的基于模糊控制的磷化铟单晶生产温度控制方法，包括以下步骤：获取磷化铟单晶炉中传感器检测到的温度偏差e以及所述温度偏差的变化率ec；对所述温度偏差以及所述温度偏差的变化率进行模糊化处理，并应用隶属度函数制定模糊推理输入与模糊推理输出参数之间的模糊控制规则表；按照所述模糊控制规则表进行模糊推理，得到模糊推理输出控制参数；对所述模糊推理输出参数进行解模糊化处理，得到解模糊化后的控制实数；根据所述解模糊后的实数驱动执行机构，实现所述磷化铟单晶炉的温度自适应控制。

主权项：1.一种基于模糊控制的磷化铟单晶生产温度控制方法，包括以下步骤：S1:获取磷化铟单晶炉中传感器检测温度值以得到的某一单位时间T的开始和结束的时间点的温度数据，并计算得出该单位时间T的开始时间点的实际温度值与设定温度值的温度偏差e＇以及该单位时间T的结束的时间点的实际温度值与设定温度值的温度偏差e,然后通过温度偏差e＇和温度偏差e计算出该单位时间T的温度偏差变化率ec；S2:变量论域划分，将温度偏差e以及温度偏差变化率ec作为输入参数，目标加热温度u作为输出参数，将输入参数和输出参数分别划分为至少3个模糊论域子集；所述变量论域划分具体为：设定温度偏差e:将其离散为5个点，偏差语言变量取5个，分别对应”负大、负小、零、正小、正大”；设定温度偏差变化率ec:将其离散为5个点，偏差语言变量取5个，分别对应”负大、负小、零、正小、正大”；设定目标加热温度u:将其离散为5个点，偏差语言变量取5个，分别对应”负大、负小、零、正小、正大”；S3:依据隶属函数对输入量进行模糊化:依据作为隶属函数的三角函数确定温度偏差e、温度偏差变化率ec以及目标加热温度u的模糊集合中某一元素隶属于某一子集的隶属度以进行模糊化，即将精确值转换为模糊值；S4:模糊规则确定:根据控制参数对系统性能的影响以及先前实验所得参数调整经验，得到能使系统获得最佳响应性能的模糊控制参数的整定原则；S5:模糊推理:对每个采样时刻的温度偏差e和温度偏差变化率ec进行模糊化处理得到模糊量E和EC，根据制定的模糊控制规则表，采用公式Un＝En×ECn·R得到模糊推理输出参数；其中Un为模糊推理输出参数U的模糊向量，En和ECn为模糊推理输入参数；R为所述模糊控制规则表中的模糊控制关系；S6:对模糊推理输出参数U采用最大隶属度法进行转换得到准确值，完成模糊控制器的构建,具体包括：选择量化因子Ke和Kec为1，比例因子Ku为1，将所述模糊推理输出参数U乘以比例因子Ku，得到解模糊后的参数U1；S7：根据所述解模糊后的参数U1驱动执行机构对下一个单位时间T的温度进行控制，实现所述磷化铟单晶炉的温度自适应控制；S8：重复步骤S1-S7，直至生产结束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆明理工大学 基于模糊控制的磷化铟单晶生产温度控制方法

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