申请/专利权人：三星电子株式会社

申请日：2019-11-08

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN111220904B

主分类号：G01R31/309

分类号：G01R31/309;G01N21/956;G02B27/28

优先权：["20181123 KR 10-2018-0146089"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2021.08.03#实质审查的生效;2020.06.02#公开

摘要：提供了测试互连基板的方法和用于执行该方法的装置。在测试互连基板的方法中，可以设置从具有本征光学特性的探头反射的参考光的阻挡条件。从具有多个电路的测试互连基板发射的电场可以使探头的本征光学特性改变为测试光学特性。可以使光照射到具有测试光学特性的探头上。可以根据阻挡条件，阻挡从具有测试光学特性的探头反射的参考光。可以检测可能由于异常电路产生的剩余的反射光。

主权项：1.一种测试互连基板的方法，所述方法包括：设置阻挡从具有本征光学特性的探头反射的参考光的阻挡条件；向所述互连基板施加电场，使得与所述互连基板相邻的所述探头具有测试光学特性；使光照射到与所述互连基板相邻的所述探头上；根据所述阻挡条件，阻挡来自具有测试光学特性的所述探头的反射光中的所述参考光；以及检测所述反射光中的剩余部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星电子株式会社 测试互连基板的方法和用于执行该方法的装置

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