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申请/专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
申请日：2021-05-13
公开（公告）日：2024-04-19
公开（公告）号：CN115341265B
主分类号：C30B15/02
分类号：C30B15/02;C30B29/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.19#授权;2024.04.12#著录事项变更;2022.12.02#实质审查的生效;2022.11.15#公开
摘要：本发明提供一种埚底吸空后的复投工艺，包括：吸料完成后，将装好复投料的复投筒放置进副室内，预热一段时间后主加热器和副加热器开始加热；设定坩埚的第一位置，向所述坩埚中投入所述复投料；移动所述坩埚至第二位置，开始化料，复投结束。本发明的有益效果是解决将埚底料吸空再复投时，坩埚的温度、位置以及复投料的温度设置不当会导致坩埚开裂，复投不当会导致坩埚受损严重，失去本身功能，现有技术中的复投工艺不能适用空石英坩埚的问题，减少开炉成本，提高产能。
主权项：1.一种埚底吸空后的复投工艺，包括：吸料完成后，将装好复投料的复投筒放置进副室内，预热一段时间后主加热器和副加热器开始加热；设定坩埚的第一位置，向所述坩埚中投入所述复投料，所述坩埚的第一位置设定为距所述主加热器上沿的300-400mm处；移动所述坩埚至第二位置，开始化料，开始化料之前，所述坩埚的第二位置设置为距所述主加热器上沿的150-300mm处，在化料之后，还需继续投入复投料，第二筒复投料的重量重于第一筒复投料，将装好复投料的复投筒放置进副室内，经主加热器和副加热器加热一段时间，将所述坩埚从所述第二位置移动至所述第一位置，向所述坩埚中投入复投料，移动所述坩埚至第三位置，所述第三位置低于所述第二位置，开始化料，复投结束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古中环晶体材料有限公司 一种埚底吸空后的复投工艺
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