申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日：2021-09-15

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN113777344B

主分类号：G01P5/08

分类号：G01P5/08;G01P13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2021.12.28#实质审查的生效;2021.12.10#公开

摘要：本发明公开了一种风速风向传感器，包括：三个支撑臂，每个支撑臂分别具有一支撑面，三个支撑臂的支撑面围成一遮挡空间；三个风速传感芯片，每个所述风速传感芯片分别对应固定于一所述支撑臂上，每个所述风速传感芯片分别包括延伸至所述遮挡空间外部的迎风面，三个风速传感芯片的迎风表面所在的平面相互正交；每个所述支撑面上分别设置有一电路板单元，所述风速传感芯片电性连接于所述电路板单元。本发明的风速风向传感器，三个迎风面相互正交，可用于三维风速风向的测试，同时支撑臂的三个支撑面围成遮挡空间，能够对电路板单元形成遮挡，避免雨水打湿，提高使用寿命等。

主权项：1.一种风速风向传感器，其特征在于，包括：三个支撑臂，每个支撑臂分别具有一支撑面，三个支撑臂的支撑面围成一遮挡空间；三个风速传感芯片，每个所述风速传感芯片分别对应固定于一所述支撑臂上，每个所述风速传感芯片分别包括延伸至所述遮挡空间外部的迎风面，三个风速传感芯片的迎风表面所在的平面相互正交，每个风速传感芯片分别包括半导体衬底和传感单元，该半导体衬底具有相对的第一表面和第二表面，沿半导体衬底的延伸方向，所述第一表面上依次形成有风力检测区、风速传感区和信号连接区，所述风力检测区和风速传感区延伸出所述支撑臂的末端，风速传感区靠近其对应的支撑臂的末端，所述风力检测区提供一迎风表面，所述传感单元通过半导体工艺生长于所述风速传感区；每个所述支撑面上分别设置有一电路板单元，所述风速传感芯片电性连接于所述电路板单元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 风速风向传感器

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