申请/专利权人：广东墨睿科技有限公司

申请日：2022-11-24

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN115744886B

主分类号：C01B32/186

分类号：C01B32/186

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2023.03.24#实质审查的生效;2023.03.07#公开

摘要：本发明涉及CVD法生长石墨烯技术领域，主要目的是提供一种石墨烯生长支架，包括用于负载生长基底的载体，所述载体设置为中空的管道，所述载体的外表面和内壁用于负载所述生长基底，所述载体的两端设有用于固定所述生长基底的并且与所述载体可拆装连接的固定件，所述固定件上设有供气体通过的第一通孔。通过改变石墨棒的结构，设置为中空的管道，管道表面和内部均可放置铜箔且通过固定件进行固定，铜箔装载尺寸增大且避免塌陷和粘连现象发生，其装载量是相同平面尺寸石墨板的6倍。筛孔结构、压环匀气环的引入，可以加快石墨烯的生长速度、均匀性以及畴区尺寸，5min即可实现高质量石墨烯连续薄膜的制备获得，相比普通石英舟样品架，生长速度提升5倍。

主权项：1.一种石墨烯生长支架，包括用于负载生长基底的载体，其特征在于：所述载体设置为中空的管道，所述载体的外表面和内壁用于负载所述生长基底，所述载体的两端设有用于固定所述生长基底的并且与所述载体可拆装连接的固定件，所述固定件上设有供气体通过的第一通孔；所述固定件包括用于固定位于所述载体外表面生长基底的端盖和用于固定位于所述载体内壁的生长基底的压环；所述端盖包括有端面板和外环，所述端面板的表面设有所述第一通孔且设置在所述载体的两端所述外环的部分与所述载体外表面过渡配合，部分与所述载体之间留有用于容纳生长基底的第一间隙；所述压环的部分与所述载体内壁过渡配合，部分与所述载体之间留有用于容纳生长基底的第二间隙；所述载体与所述端面板接触的部分设置为端面，所述端面设有用于连通所述第一通孔和所述载体管道内部的匀气通道；所述匀气通道包括相互垂直且连通的第一通道和第二通道，所述第一通道与所述第一通孔连通且沿着所述载体的轴向方向设置，所述第二通道与所述载体管道内连通且沿着所述载体径向方向设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东墨睿科技有限公司 一种石墨烯生长支架及生长石墨烯的方法

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