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【实用新型】一种磷化铟生长材料烘烤炉_中讯半导体(江苏)有限公司_202322457863.9 

申请/专利权人:中讯半导体(江苏)有限公司

申请日:2023-09-11

公开(公告)日:2024-04-19

公开(公告)号:CN220818552U

主分类号:F27D1/00

分类号:F27D1/00;F27D3/00;F27D1/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.19#授权

摘要:本实用新型公开了一种磷化铟生长材料烘烤炉,包括炉体,所述炉体的外壁等距开设有四个安装槽,所述炉体的外周均匀设置有四个防护隔板,所述安装槽内安装有连接防护隔板的支撑调节机构;所述支撑调节机构包括转动设置在安装槽内的双向螺杆,所述双向螺杆的外壁对称设置有两个与其适配的滑块,所述滑块的外壁转动设置有第一连接杆,位于同一个安装槽内的两个第一连接杆转动连接有同一个第二连接杆。本实用新型便于通过设置的驱动机构通过支撑调节机构实现防护隔板的扩展和收起,展开便于防护,收起不占用空间,且在防护隔板收起时,便于投料;进行烘烤时,磷化铟生长材料收在炉体内,且防护隔板展开实现联动,使用方便。

主权项:1.一种磷化铟生长材料烘烤炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的外壁等距开设有四个安装槽(7),所述炉体(1)的外周均匀设置有四个防护隔板(3),所述安装槽(7)内安装有连接防护隔板(3)的支撑调节机构(4);所述支撑调节机构(4)包括转动设置在安装槽(7)内的双向螺杆(8),所述双向螺杆(8)的外壁对称设置有两个与其适配的滑块(9),所述滑块(9)的外壁转动设置有第一连接杆(10),位于同一个安装槽(7)内的两个第一连接杆(10)转动连接有同一个第二连接杆(11),所述防护隔板(3)连接在第二连接杆(11)上,所述炉体(1)的底部安装有驱动四个双向螺杆(8)转动的驱动机构(18)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中讯半导体(江苏)有限公司 一种磷化铟生长材料烘烤炉

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