申请/专利权人:新疆大全新能源股份有限公司
申请日:2023-09-28
公开(公告)日:2024-04-19
公开(公告)号:CN220802025U
主分类号:B01D15/10
分类号:B01D15/10;B01D3/14;C01B33/107
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种吸附剂热活化装置,涉及多晶硅生产技术领域主要目的是提高吸附塔吸附剂活化过程中放热反应的可控性。本实用新型的主要技术方案为:吸附剂热活化装置,该装置包括:汽化换热器、顶采四氯化硅管、顶采三氯氢硅管和引流管;汽化换热器的进口连接于第一氮气管;顶采四氯化硅管连接于汽化换热器的进口,顶采四氯化硅管安装有第一调节阀;顶采三氯氢硅管连接于汽化换热器的进口,顶采三氯氢硅管安装有第二调节阀;引流管的一端连接于汽化换热器的出口,另一端连接于吸附塔的进口,引流管安装有控制阀,控制阀和吸附塔之间的引流管管壁连接于第二氮气管,吸附塔的出口连接于地槽。
主权项:1.一种吸附剂热活化装置,其特征在于,包括:汽化换热器,所述汽化换热器的进口连接于第一氮气管;顶采四氯化硅管,所述顶采四氯化硅管连接于所述汽化换热器的进口,所述顶采四氯化硅管安装有第一调节阀;顶采三氯氢硅管,所述顶采三氯氢硅管连接于所述汽化换热器的进口,所述顶采三氯氢硅管安装有第二调节阀;引流管,所述引流管的一端连接于所述汽化换热器的出口,另一端连接于吸附塔的进口,所述引流管安装有控制阀,所述控制阀和所述吸附塔之间的所述引流管管壁连接于第二氮气管,所述吸附塔的出口连接于地槽。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 新疆大全新能源股份有限公司 吸附剂热活化装置
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