申请/专利权人：苏州智辐材料科技有限公司

申请日：2023-10-07

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN220812603U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/56;F16F15/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权

摘要：本实用新型涉及磁控溅镀机技术领域，且公开了一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，包括底座，所述底座的底部设置有万向轮，所述底座的上端四个靠边缘处均设置有立柱，四个所述立柱的上端连接有箱体，所述箱体的前端面两侧均通过铰链连接有箱门，所述箱体的右上端安装有控制器。本实用新型通过设置真空泵、抽真空管道、上玻璃罩体和玻璃罩体以及橡胶环，利用真空泵、抽真空管道、上玻璃罩体、下玻璃罩体和橡胶环之间的相互配合作用，从而可以实现在磁控溅镀时对工件进行与外界隔离，避免外界对磁控溅镀进行影响，且设置橡胶环可以在上玻璃罩体、下玻璃罩体合体时进行缓冲，避免上玻璃罩体和下玻璃罩体合体时碰撞导致损耗，且密封效果好。

主权项：1.一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，包括底座1，其特征在于：所述底座1的底部设置有万向轮2，所述底座1的上端四个靠边缘处均设置有立柱3，四个所述立柱3的上端连接有箱体4，所述箱体4的前端面两侧均通过铰链5连接有箱门6，所述箱体4的右上端安装有控制器7，所述箱体4的左上端安装有工作台8，所述工作台8的上端安装有下玻璃罩体9，所述箱体4的内部底端设置有电机15，所述电机15的上端连接有主动轮17，所述主动轮17通过链条与左侧的从动轮16相连接，所述从动轮16的轴心处穿设有螺杆11，所述螺杆11的上端穿过箱体4的顶部并通过螺母24与螺母座10相连接，所述螺母座10上并位于螺杆11的一侧设置有限位杆12，所述螺母座10的右下端安装有磁控溅镀头23，所述螺母座10的右下端并位于磁控溅镀头23的外围连接有上玻璃罩体25，所述上玻璃罩体25位于下玻璃罩体9的正上方，所述箱体4的内部顶部安装有支撑架20，所述支撑架20上安装有真空泵18，所述箱体4的内部底部并位于电机15右侧安装有高功率脉冲电源14，所述真空泵18的通过抽真空管道19穿过箱体4的顶部与上玻璃罩体25的一侧相连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州智辐材料科技有限公司 一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机

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