龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：杭州龙圣外延科技有限公司
申请日：2024-03-10
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN117926210A
主分类号：C23C16/18
分类号：C23C16/18;C23C16/455
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本发明提供了一种反应气体预热的MOCVD设备，包括：反应腔壳，用于提供供反应气体发生化学反应的环境；进气口和排气口，分别用于向反应腔壳内供应反应气体和从反应腔壳内排出气体；以及内筒41，设置在反应腔壳内，并且内筒41与反应腔壳之间形成反应气体通道51，其中，所述MOCVD设备被配置为使得内筒41和反应腔壳之间能够相对旋转；并且其中，所述MOCVD设备被配置为使得反应气体在通过进气口进入反应腔壳前被预热。本发明的反应气体预热的MOCVD设备能够减小MOCVD设备的巨大能耗，降低设备运行成本，具有改善的温度均匀性、气体流动均匀性和或气体浓度均匀性，能够提高半导体器件的沉积质量，能够增大产能。
主权项：1.一种反应气体预热的MOCVD设备，其特征在于，所述MOCVD设备包括：反应腔壳，用于提供供反应气体发生化学反应的环境；进气口和排气口，分别用于向反应腔壳内供应反应气体和从反应腔壳内排出气体；以及内筒41，设置在反应腔壳内，并且内筒41与反应腔壳之间形成反应气体通道51，其中，所述MOCVD设备被配置为使得内筒41和反应腔壳之间能够相对旋转；并且其中，所述MOCVD设备被配置为使得反应气体在通过进气口进入反应腔壳前被预热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州龙圣外延科技有限公司 反应气体预热的MOCVD设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号