申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117923122A

主分类号：B65G47/244

分类号：B65G47/244;B25J11/00;H01L21/677;H01L21/687;B65G49/06

优先权：["20221026 KR 10-2022-0139532"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及即使在基板由机器人输送装置摆动移动和传送时也能够保持基板的方向或基板的顺序的基板传送系统及方法，特别地，基板传送系统可以包括：机器人输送装置，使用至少一个可摆动移动的输送臂来传送至少一个基板；以及补偿旋转装置，安装在机器人输送装置的输送臂上，并且选择性地支承基板使得基板能够补偿旋转，从而即使当在机器人输送装置传送基板的同时输送臂进行摆动运动时，也能够保持基板的方向或基板的顺序。

主权项：1.一种基板传送系统，包括：机器人输送装置，使用至少一个可摆动移动的输送臂来传送至少一个基板；以及补偿旋转装置，安装在所述机器人输送装置的所述输送臂上，并且选择性地支承所述基板，使得所述基板能够补偿旋转，从而即使当在所述机器人输送装置传送所述基板的同时所述输送臂进行摆动运动时，也能够保持所述基板的方向或所述基板的顺序。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 用于传送基板的系统及方法

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