申请/专利权人：云谷(固安)科技有限公司

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926176A

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明提供了一种掩膜版及其制备方法、蒸镀设备。掩膜版具有蒸镀区、遮挡区以及过渡区，遮挡区围绕至少部分蒸镀区，过渡区位于蒸镀区与遮挡区之间。掩膜版包括位于蒸镀区的主体部、位于蒸镀区且贯穿主体部的蒸镀孔、与主体部连接并位于过渡区中的过渡部以及与过渡部连接并位于遮挡区中的遮挡部。过渡部靠近主体部的一端的厚度小于遮挡部的厚度。通过过渡部的过渡，消除主体部与遮挡部之间较大段差对最外侧蒸镀孔的形貌和大小的影响，促使蒸镀区中的所有蒸镀孔的形貌和大小均相同。

主权项：1.一种掩膜版，其特征在于，具有蒸镀区、遮挡区以及过渡区，所述遮挡区围绕至少部分所述蒸镀区，所述过渡区位于所述蒸镀区与所述遮挡区之间；所述掩膜版包括：主体部，位于所述蒸镀区；蒸镀孔，位于所述蒸镀区，且贯穿所述主体部；过渡部，与所述主体部连接，并位于所述过渡区中；遮挡部，与所述过渡部连接，并位于所述遮挡区中；所述过渡部靠近所述主体部的一端的厚度小于所述遮挡部的厚度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云谷(固安)科技有限公司 掩膜版及其制备方法、蒸镀设备

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