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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2022-08-25
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN117940600A
主分类号：C23C16/448
分类号：C23C16/448;B01J7/00;B05B9/00;B05B15/00;H01L21/31
优先权：["20210908 JP 2021-146294"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本公开的一形态的原料供给装置由使固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使固体原料分散于分散介质而得到的分散体生成反应性气体，其中，该原料供给装置具有：容器，其具有形成内部空间的第1壁面；喷雾喷嘴，其向所述内部空间喷雾所述溶液或所述分散体；以及壁构造体，其设于所述内部空间，具有沿铅垂方向延伸的第2壁面。
主权项：1.一种原料供给装置，其由使固体原料溶解于溶剂而得到的溶液或使固体原料分散于分散介质而得到的分散体生成反应性气体，其中，该原料供给装置具有：容器，其具有形成内部空间的第1壁面；喷雾喷嘴，其向所述内部空间喷雾所述溶液或所述分散体；以及壁构造体，其设于所述内部空间，具有沿铅垂方向延伸的第2壁面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 原料供给装置
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