申请/专利权人：研能科技股份有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117927442A

主分类号：F04B17/00

分类号：F04B17/00;F04B53/00

优先权：["20221025 TW 111140481"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：一种微型流体泵，包含：第一基板，设有流体通槽，以及至少一第一流体通道；第一接着层；第二基板，其中第一基板、第一接着层、第二基板依序由下而上叠设，并定义出第二流体通道，第二基板更包含至少一穿孔；第二接着层；第三基板，其中第二基板、第二接着层、第三基板依序由下而上叠设，并定义出共振腔室，第三基板更包含至少一第三流体通道、致动部、连接部与外周部，第三流体通道则贯通第三基板，使第三流体通道、共振腔室得通过穿孔依序连通第二流体通道、第一流体通道、流体通槽；以及压电组件，叠设于致动部之上。

主权项：1.一种微型流体泵，其特征在于，包含：一第一基板，设有一流体通槽，以及至少一第一流体通道，其中该流体通槽为深槽状；一第一接着层；一第二基板，其中该第一基板、该第一接着层、该第二基板依序由下而上叠设，并定义出一第二流体通道，该第二流体通道顶端设有一穿孔；一第二接着层；一第三基板，其中该第二基板、该第二接着层、该第三基板依序由下而上叠设，并定义出一共振腔室，该第三基板更包含至少一第三流体通道、一致动部、一连接部与一外周部，其中该外周部环设于该致动部的外围，该外周部并通过该连接部耦接该致动部，该第三流体通道则贯通该第三基板，使该第三流体通道、该共振腔室得通过该穿孔依序连通该第二流体通道、该第一流体通道、该流体通槽；以及一压电组件，叠设于该致动部之上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 研能科技股份有限公司 微型流体泵

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