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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日：2024-01-15
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN117928811A
主分类号：G01L9/00
分类号：G01L9/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本发明提供一种双模式谐振压力传感器，使得同一个MEMS敏感芯片仅通过简单的工作方式的切换即可实现中低真空至大气压力的全量程压力测量。在大于低真空压力段通过多个2个及以上单体谐振器或一个单体谐振器搭配热敏部件构成的谐振式压力传感器实现测量，传感器在此部分将具备高精度输出特性，且可在宽温区稳定工作。在中低真空压力段，多个单体谐振器不少于2个耦合在一起，且通过调整耦合刚度使耦合系统工作在弱耦合状态，此时传感器产生模态局域化现象，借此可获得高灵敏度特性，实现低真空压力的高灵敏度测量。
主权项：1.一种双模式谐振压力传感器，其特征在于，所述双模式谐振压力传感器包括谐振器组，谐振器组包括至少2个单体谐振器，其中，在低真空以上压力段即P≥P0，谐振器组的单体谐振器不耦合，单体谐振器将分别敏感于压力，各自产生谐振频率输出量，通过同时解算某些单体谐振器的谐振频率或解算其中一个单体谐振器频率以及热敏部件的输出值，得到该温度下待测压力值；在中低真空范围内即PP0，谐振器组的单体谐振器弱耦合，使谐振器组产生模态局域化现象，此时通过解算各单体谐振器的幅值信息与热敏部件输出值得到该温度下待测压力的测量值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 一种双模式谐振压力传感器
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