龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：无锡江松科技股份有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN117936432A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01J37/32;H01L21/677;C23C14/22
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本申请公开了一种PVD设备下料系统及下料方法，涉及硅片加工技术领域，包括：机架，所述机架上设置有载板下料区、硅片下料区、转运区以及载板码放区，所述转运区置于硅片下料区下方，所述载板下料区和载板码放区分别置于转运区的两侧；本申请将来自PVD设备的假载板会直接移出机架，而真载板会先码放在载板码放区处，待PVD设备中的载板全部卸下后，载板码放区处的真载板再依次通过硅片下料区进行硅片的下料，最后转运至机架外，实现了真载板与假载板的分类的同时，解决了硅片下料速度与PVD设备载板的下料速度不匹配的问题。
主权项：1.一种PVD设备下料系统，其特征在于，包括：机架，所述机架上设置有载板下料区（1）、硅片下料区（3）、转运区（2）以及载板码放区（4），所述转运区（2）置于硅片下料区（3）下方，所述载板下料区（1）和载板码放区（4）分别置于转运区（2）的两侧；所述载板下料区（1）用于承接并识别载板为真载板还是假载板、将真载板转运至硅片下料区（3）或转运区（2）以及将真载板或假载板移出机架；所述硅片下料区（3）用于将真载板上的硅片转运至花篮内并将真载板转运至载板码放区（4）或载板下料区（1）；所述载板码放区（4）用于码放真载板并将真载板转运至硅片下料区（3）或转运区（2）；所述转运区（2）用于将来自载板码放区（4）的真载板转运至载板下料区（1）以及将来自载板下料区（1）的真载板转运至载板下料区（1）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡江松科技股份有限公司 一种PVD设备下料系统及下料方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号