申请/专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司

申请日：2022-07-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117940601A

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52

优先权：["20210730 US 63/227,842"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：一种加热的外壳，用于优化的固相半导体加工材料的升华和随后所得蒸汽的输送。外壳具有隔热以将热量保持在外壳内的中空壳体。外壳还具有至少两个独立的加热区，其具有独立的温度控制和专用的过热保护而限定上加热区和下加热区并且位于壳体中。下加热区配置成接受储存固相半导体加工材料的容器。外壳还进一步具有可移除且高度可调节的由隔热材料制成的分隔板，从而将上加热区和下加热区分开，并使上加热区和下加热区之间的热传递最小化。

主权项：1.一种加热的外壳，其用于优化的固相半导体加工材料的升华和随后所得蒸汽的输送，所述外壳包括：中空壳体，其被隔热以将热量保持在所述壳体内并且具有顶部和底部；至少两个独立的加热区，其具有独立的温度控制和专用的过热保护而限定上加热区和下加热区并且位于所述壳体中，所述下加热区配置成接受储存固相半导体加工材料的容器；和可移除且高度可调节的分隔板，其由隔热材料制成，将所述上加热区和所述下加热区分开，并使所述上加热区和所述下加热区之间的热传递最小化；和固定在加热源和所述容器之间的隔热罩。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 弗萨姆材料美国有限责任公司 用于固相前体的优化升华的多区域加热外壳

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