申请/专利权人：株式会社大真空

申请日：2022-09-22

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117941253A

主分类号：H03H3/04

分类号：H03H3/04;H03H9/02

优先权：["20210930 JP 2021-161534"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：一种晶体谐振器100的频率调整方法，在第二密封构件30的与第二激励电极112相向的第一主面301上，形成有由基底金属层36a和层叠在其上的金属层36b构成的频率调整用金属膜36，第二密封构件30由水晶构成；通过从第二密封构件30的外部对频率调整用金属膜36照射激光，使激光透射到第二密封构件30的内部将基底金属层36a加热，而使金属层36b的至少一部分融化并蒸发后附着在第二激励电极112上，来进行频率调整。

主权项：1.一种压电振动器件的频率调整方法，所述压电振动器件中，压电振动片具有形成有激励电极的振动部，所述压电振动片的至少所述振动部被密封构件气密密封，其特征在于：在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上，形成有由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜；形成有所述频率调整用金属膜的所述密封构件的至少一部分由透光性材料构成；通过从所述密封构件的外部对所述频率调整用金属膜照射光束，使所述光束透射到所述密封构件的内部将所述基底金属层加热，而使所述金属层的至少一部分融化并蒸发后附着在所述激励电极上，来进行频率调整。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社大真空 压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件

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