申请/专利权人：上海强华实业股份有限公司

申请日：2024-01-18

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117935980A

主分类号：G16C20/70

分类号：G16C20/70;G16C20/20;C03C1/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及石英加工技术领域，本发明公开了精烧工艺关键参数的在线实时监测与质量控制方法及系统，包括获取至少一个石英的二维图像以及第一三维点云，基于二维图像以及第一三维点云确定石英体积，获取石英精烧过程中的废气排出数据，本发明先通过二维图像和点云数据获取石英的体积，在石英进行精烧的过程中，通过废气排出数据确定石英内部主要的包裹体种类，根据包裹体种类不同采取不同的气体通入方式，再根据石英的体积确定气体通入量，使得石英的退火阶段时，能够控制石英的质量，后续还通过对水蒸气浓度进行检测，判断是否停止氧气通入，避免过度氧气通入导致石英质量的下降。

主权项：1.精烧工艺关键参数的在线实时监测与质量控制方法，其特征在于，包括：S10：获取至少一个石英的二维图像以及第一三维点云，基于二维图像以及第一三维点云确定石英体积；S20：获取石英精烧过程中的废气排出数据，根据废气排出数据以及预构建的第一机器学习模型确定石英内部包裹体种类，包裹体种类包括矿物包裹体、熔融包裹体和流体包裹体；S30：基于包裹体种类确定气体通入方式，根据石英体积、气体通入方式和预构建的第二机器学习模型获得气体通入量，气体通入方式包括氧气通入和氮气通入；S40：判断气体通入方式是否为氧气通入，若是，则获取石英退火环境中的水蒸气浓度，根据水蒸气浓度确定是否停止氧气通入。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海强华实业股份有限公司 精烧工艺关键参数的在线实时监测与质量控制方法及系统

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