申请/专利权人:细美事有限公司
申请日:2023-08-18
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117936444A
主分类号:H01L21/68
分类号:H01L21/68;H01L21/687;H01L21/67
优先权:["20221024 KR 10-2022-0137430"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.26#公开
摘要:本发明提供一种能够防止拾取模块的中心误差的拾取模块的中心对准装置及方法,可以包括:边沿感测装置,对安装于拾取头的夹头或夹头型夹具的左侧边沿、右侧边沿、前方边沿以及后方边沿进行感测;和控制部,利用所述边沿感测装置所感测的边沿感测信息计算出所述拾取头的中心点的坐标。
主权项:1.一种拾取模块的中心对准装置,其特征在于,包括:边沿感测装置,对安装于拾取头的夹头或夹头型夹具的左侧边沿、右侧边沿、前方边沿以及后方边沿进行感测;和控制部,利用所述边沿感测装置所感测的边沿感测信息计算出所述拾取头的中心点的坐标。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 细美事有限公司 拾取模块的中心对准装置及方法
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