申请/专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司

申请日：2024-01-23

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926408A

主分类号：C30B29/06

分类号：C30B29/06;B08B9/043;C30B15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及清灰技术领域，公开一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真空管道，真空管道上预制有清灰管，清灰管端部的连接法兰上设有真空清灰机构，所述真空清灰机构包括密封固定在法兰上的主连接板，主连接板上套接有中心杆，中心杆穿过清灰管伸入到真空管道内的端部固定有刮灰部，所述中心杆的另一端穿过柔性波纹管后固定在驱动板上，所述柔性波纹管的两端分别密封固定在主连接板和驱动板上；所述主连接板上固定有驱使驱动板移动的伸缩缸，它通过真空设置的柔性波纹管内套接中心杆驱动刮灰部移动，从而在不停机的情况下自动完成对真空管道的刮灰工作，解决了现有技术需停止设备工作进行清灰工作影响单晶硅棒生产效率的问题。

主权项：1.一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真空管道（10），真空管道（10）上预制有清灰管（11），清灰管（11）端部的连接法兰（12）上设有真空清灰机构（20），其特征在于：所述真空清灰机构（20）包括密封固定在法兰（12）上的主连接板（201），主连接板（201）上套接有中心杆（202），中心杆（202）穿过清灰管（11）伸入到真空管道（10）内的端部固定有刮灰部（30），所述中心杆（202）的另一端穿过柔性波纹管（204）后固定在驱动板（205）上，所述柔性波纹管（204）的两端分别密封固定在主连接板（201）和驱动板（205）上；所述主连接板（201）上固定有驱使驱动板（205）移动的伸缩缸（206）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 绍兴赛致捷机电设备有限公司 一种单晶炉真空管道真空清灰装置

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