申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2023-10-19

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117930591A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/027;G03F7/00

优先权：["20221024 US 18/049,128"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明提供了平坦化系统和平坦化方法。平坦化系统包括：覆板卡盘，其包括被构造为保持覆板的保持表面；可充气隔膜，其具有：限定内边缘的内径；限定外边缘的外径；以及所述内边缘与所述外边缘之间的、在径向方向上的中点，其中，可充气隔膜设置在覆板卡盘的保持表面的径向外侧；以及吹扫气体通道，其设置在可充气隔膜的中点的径向内侧并且在覆板卡盘的保持表面的径向外侧。

主权项：1.一种平坦化系统，其包括：覆板卡盘，其包括被构造为保持覆板的保持表面；可充气隔膜，其具有：限定内边缘的内径；限定外边缘的外径；以及所述内边缘与所述外边缘之间的、在径向方向上的中点，其中，可充气隔膜设置在覆板卡盘的保持表面的径向外侧；以及吹扫气体通道，其设置在可充气隔膜的中点的径向内侧并且在覆板卡盘的保持表面的径向外侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 平坦化系统和平坦化方法

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