申请/专利权人：江苏澜兴精密工具有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926214A

主分类号：C23C16/27

分类号：C23C16/27;C23C16/458;C23C16/455;C23C16/511

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本申请公开了一种化学气相沉积金刚石的装置，包括支撑板、立板、底板、密封套、转筒、基片台、驱动组件和进气组件，其中，立板固定设置在支撑板上，且立板的侧壁上设有滑台模组，密封套通过连接板与滑台模组的滑台固定连接；底板固定设置在支撑板的上表面；底板的上表面开设有密封槽，密封套的下表面设置在密封槽的内部，且底板和密封套构成反应室；底板的上表面开设有滑槽，转筒与滑槽滑动连接；基片台通过支撑轴可转动地设置在底板上；驱动组件设置在转筒的内部，且驱动组件分别与基片台和转筒相连，进气组件设置在反应室的内部，且进气组件与转筒相连。由此，能够使金刚石均匀地沉积在基板表面，提高了金刚石沉积的效果。

主权项：1.一种化学气相沉积金刚石的装置，其特征在于，包括支撑板、立板、底板、密封套、转筒、基片台、驱动组件和进气组件，其中，所述立板固定设置在所述支撑板上，且所述立板的侧壁上设有滑台模组，所述密封套通过连接板与所述滑台模组的滑台固定连接；所述底板固定设置在所述支撑板的上表面；所述底板的上表面开设有密封槽，所述密封套的下表面设置在所述密封槽的内部，且所述底板和所述密封套构成反应室；所述底板的上表面开设有滑槽，所述转筒与所述滑槽滑动连接；所述基片台通过支撑轴可转动地设置在所述底板上；所述驱动组件设置在所述转筒的内部，且所述驱动组件分别与所述基片台和所述转筒相连，其中，所述驱动组件用于驱动所述基片台和所述转筒进行同步转动；所述进气组件设置在所述反应室的内部，且所述进气组件与所述转筒相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏澜兴精密工具有限公司 化学气相沉积金刚石的装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD