申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所

申请日：2024-01-10

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117921541A

主分类号：B24B49/04

分类号：B24B49/04;G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种光学元件面形非接触式检测装置及方法，主要用于光学元件研磨加工阶段面形非接触式检测。该装置由光学加工机器人、光学测距传感器、激光跟踪仪、靶球、精密机械件、检测架组成。该检测装置基于空间点坐标采集与计算，通过数据同步采集与处理分析，得到光学元件面形结果。本发明采用光学测距传感器测量，检测精度高，可实现非接触式测量；采用激光跟踪仪测量靶球空间位置数据，便于实现光学元件在位检测。

主权项：1.一种光学元件面形非接触式检测装置，其特征在于：包括光学加工机器人、光学测距传感器、激光跟踪仪、靶球、精密机械件、90度转接件、检测架；所述光学加工机器人安装于待测光学元件加工位置；所述靶球安装于精密机械件上端；所述激光跟踪仪通过90度转接件安装于检测架放置待测光学元件的曲率半径中心点位置；所述90度转接件安装于检测架上安装平面；所述检测架安装于待测光学元件附近；所述精密机械件安装于光学加工机器人的执行末端；所述光学测距传感器安装于精密机械件下端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院光电技术研究所 一种光学元件面形非接触式检测装置及方法

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