申请/专利权人：安徽工业大学

申请日：2024-03-11

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926232A

主分类号：C23C16/54

分类号：C23C16/54;C23C16/46;C23C16/56;C23C16/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.24#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明提供了一种并行周向连续式等离子体镀膜装置，包括机体组件和周向送料结构，所述机体组件包括基座、密封架和加工台；其中，所述密封架安装于所述基座的顶部，所述加工台固定连接于所述基座的内侧壁顶部，所述周向送料结构安装于所述加工台和基座之间；本发明通过利用上下料机构在真空环境下将基材推送至周向送料结构内，然后通过周向送料结构对基材限位，并带动基材周向运动，然后利用镀膜固化机构对基材表面进行镀膜，并利用加热的方式对镀层进行固化处理，然后通过推送机构配合翻转机构对基材进行顶升翻转，然后再利用镀膜固化机构进行镀膜和固化，从而保证了镀膜效果，且可以对基材进行双面镀膜处理，提高了镀膜装置的适用范围。

主权项：1.一种并行周向连续式等离子体镀膜装置，包括机体组件1和周向送料结构2，其特征在于，所述机体组件1包括基座101、密封架102和加工台103；其中，所述密封架102安装于所述基座101的顶部，所述加工台103固定连接于所述基座101的内侧壁顶部，所述周向送料结构2安装于所述加工台103和基座101之间，所述加工台103的一侧底部安装有推送机构3，所述基座101的外侧安装有上下料机构4，所述上下料机构4内安装有闸门机构5，所述密封架102的内侧壁顶部安装有镀膜固化机构6，所述密封架102的内侧壁一侧安装有翻转机构7，所述上下料机构4的表面连通有闸室真空机构8，所述上下料机构4的内侧壁底部安装有水冷盘9；其中，所述周向送料结构2用于对基材进行限位，并带动基材周向运动；其中，所述推送机构3用于对周向送料结构2内的基材进行顶升及复位，并配合翻转机构7在基材顶升完成后对其进行翻转；其中，所述上下料机构4用于将基材推送至周向送料结构2的内部，并用于将周向送料结构2内镀膜完成后的基材取出；其中，所述闸门机构5用于控制上下料机构4的开启和关闭，以便配合闸室真空机构8对上下料机构4内的真空环境进行控制；其中，所述镀膜固化机构6用于对翻转前和翻转后的基材进行镀膜，并利用加热的方式对镀层进行固化；其中，所述水冷盘9用于利用水冷的方式对镀膜完成后的基材进行降温。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽工业大学 一种并行周向连续式等离子体镀膜装置

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