申请/专利权人：新疆新特晶体硅高科技有限公司;新疆硅基新材料创新中心有限公司

申请日：2020-12-22

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN114655958B

主分类号：C01B33/035

分类号：C01B33/035;G05B19/418

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.07.12#实质审查的生效;2022.06.24#公开

摘要：本发明公开一种多晶硅生产的控制方法，包括：对多晶硅生产设备进行优化控制，以获取优化后的设备参数；根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进；对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制，以获取目标多晶硅产品。相应的，还公开一种多晶硅生产的控制设备。该控制方法和设备可实现准确控制多晶硅生产的过程，提高产品质量。

主权项：1.一种多晶硅生产的控制方法，其特征在于，包括：对多晶硅生产设备进行优化控制，以获取优化后的设备参数；根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进；对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制，以获取目标多晶硅产品，其中，设备参数包括部件的尺寸和材料参数，所述部件包括还原炉内腔、底盘、进气口、出气口、以及电极，材料参数包括密度、热导率、发射率，所述对多晶硅生产设备进行优化控制，以获取优化后的设备参数，具体包括：S11，对当前的设备参数进行仿真，得到模拟的设备特征数据，其中，设备特征数据包括温度场、速度场的分布及能耗的特征数据；S12，得到下一次仿真的设备参数：对当前的设备参数及历史的设备参数、以及当前的模拟的设备特征数据及历史的模拟的设备特征数据进行机器学习及大数据分析，得到设备参数与设备特征数据的对应关系，根据所述对应关系以及目标设备特征数据，得到下一次仿真的设备参数，该仿真的设备参数能够使模拟的设备特征数据趋近于目标设备特征数据；循环执行S11和S12，直至获取优化后的设备参数，优化后的设备参数所对应的模拟的设备特征数据与目标设备特征数据一致，所述对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制，以获取目标多晶硅产品，具体包括：S21，对多晶硅的生产条件进行仿真，得到模拟的设备特征数据，其中，多晶硅的生产条件包括物料流量、配比、温度、压力；S22，采集多晶硅生产时的实际生产的特征数据；S23，对多晶硅的生产条件及其相应的模拟的设备特征数据，实际生产的特征数据，以及多晶硅生产的实时控制过程中的测量数据、出炉数据、过程计算数据、控制目标，进行机器学习和深度学习，得到多晶硅的生产条件与实际的生产结果的对应关系，根据所述对应关系及控制目标得到下一次生产所需的多晶硅的生产条件；S24，根据下一次生产所需的多晶硅的生产条件优化控制多晶硅生产设备进行多晶硅生产；循环执行S21-S24，直至获取目标多晶硅产品。

全文数据：

权利要求：

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