申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-12-06

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN113228221B

主分类号：H01J37/147

分类号：H01J37/147;H01J37/304

优先权：["20181228 US 62/786,248"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2021.08.24#实质审查的生效;2021.08.06#公开

摘要：公开了在多射束设备中观察样品的系统和方法。多射束设备可以包括偏转器阵列，其被配置为将多个束波中的个体束波进行控向，该偏转器阵列中的每个偏转器具有对应的驱动器，其被配置为接收用于对对应的个体束波进行控向的信号。该设备还可以包括：具有电路装置的控制器，其用于获取样品的轮廓数据并且通过基于所获取的轮廓数据向对应的驱动器提供信号来控制每个偏转器；以及控向电路装置，包括：对应的驱动器，其被配置为生成驱动信号；对应的补偿器，其被配置为接收该驱动信号和来自与相邻偏转器相关联的其他相邻驱动器的一组驱动信号，并且基于驱动信号和该组驱动信号来生成补偿信号以补偿对应的偏转器。

主权项：1.一种多射束设备，包括：偏转器阵列，被配置为对多个束波中的个体束波进行控向，所述偏转器阵列中的每个偏转器具有对应的驱动器，所述对应的驱动器被配置为接收用于对对应的个体束波进行控向的信号；以及具有电路装置的控制器，所述控制器被配置为获取样品的轮廓数据，并且通过基于所获取的轮廓数据向所述对应的驱动器提供所述信号来控制每个偏转器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 通过多射束设备的个体射束控向的经改善扫描效率

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD