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【发明授权】用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统及汽化工艺_浙江赛勒新能源材料有限公司_202410146759.4 

申请/专利权人:浙江赛勒新能源材料有限公司

申请日:2024-02-02

公开(公告)日:2024-04-26

公开(公告)号:CN117654065B

主分类号:B01B1/00

分类号:B01B1/00;C01B33/107;B01F33/80

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.26#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要:本发明提供了一种用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统及汽化工艺,涉及多晶硅技术领域。所述汽化系统包括:混合器和汽化器;所述汽化器包括壳体、设置在壳体内部的换热器,以及上进料管和下进料管;所述换热器包括换热管和设置在换热管两端的管板,所述换热管为竖直设置的直管,所述管板分别与所述壳体固定连接;所述混合器分别与所述上进料管和所述下进料管连通,所述上进料管设置在所述换热器的上方,所述下进料管设置在所述换热器的下方,所述上进料管上和所述下进料管上均开设有若干个孔隙;所述汽化器的顶部设置有气体出口,用于排出四氯化硅和氢气的混合气。

主权项:1.一种用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统,其特征在于,所述汽化系统包括:混合器(10)和汽化器;所述汽化器包括壳体(20)、设置在壳体(20)内部的换热器(30)、上进料管(11)和下进料管(12);所述换热器(30)包括换热管(31)和设置在换热管(31)两端的管板,所述换热管(31)为竖直设置的直管,所述管板分别与所述壳体(20)固定连接;所述混合器(10)分别与所述上进料管(11)和所述下进料管(12)连通,所述上进料管(11)设置在所述换热器(30)的上方,所述下进料管(12)设置在所述换热器(30)的下方,所述上进料管(11)上和所述下进料管(12)上均开设有若干个孔隙;从上进料管(11)进料的流量大于从下进料管(12)进料的流量;所述汽化器的顶部设置有气体出口(23),用于排出四氯化硅和氢气的混合气。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江赛勒新能源材料有限公司 用于多晶硅冷氢化装置的四氯化硅汽化系统及汽化工艺

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