申请/专利权人:广州市众拓光电科技有限公司
申请日:2021-08-10
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN113725327B
主分类号:H01L33/06
分类号:H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权;2021.12.17#实质审查的生效;2021.11.30#公开
摘要:本发明涉及发光二极管技术领域,具体涉及一种GaN基绿光LED外延结构及其制备方法和应用。所述GaN基绿光LED外延结构从下至上包括衬底、缓冲层、非故意掺杂层、N型层、Nplus层、量子阱发光层、P型电子阻挡层、P型层;所述Nplus层从下至上包括第一GaN层、第一NGaN层、第二GaN层、第三GaN层、第二NGaN层和第四GaN层。本发明提供的GaN基绿光LED外延结构包括Nplus层,通过Nplus层的设置,能够有效减弱量子阱发光区的极化效应,提高了电子和空穴的复合几率,提升发光效率,同时提升抗静电性能和可靠性。
主权项:1.一种GaN基绿光LED外延结构,其特征在于,从下至上包括衬底、缓冲层、非故意掺杂层、N型层、Nplus层、量子阱发光层、P型电子阻挡层、P型层;所述Nplus层从下至上包括第一GaN层、第一NGaN层、第二GaN层、第三GaN层、第二NGaN层和第四GaN层;第一GaN层的厚度为2~6nm;第一NGaN层的厚度为6~12nm、第二GaN层的厚度为1~5nm、第三GaN层的厚度为1~5nm、第二NGaN层的厚度为2~6nm、第四GaN层的厚度为1~5nm。
全文数据:
权利要求:
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