申请/专利权人:迈科微真空技术(苏州)有限公司
申请日:2023-08-03
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN220850019U
主分类号:F04C18/12
分类号:F04C18/12;F04C23/00;F04C29/04;F04C29/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权
摘要:本实用新型公开一种双级罗茨真空泵,包括泵体、中隔板和相啮合的两个罗茨转子部件,泵体沿轴线包括一级泵体和二级泵体,一级泵体设有一级转子腔、进气口以及排气通道,二级泵体设有二级转子腔、排气口以及进气通道,排气通道与进气通道连通,一级转子腔和二级转子腔分别贯穿各自所在泵体朝向另一泵体的一侧,一级转子腔和二级转子腔间通过中隔板分隔,中隔板上设有转子过孔,罗茨转子部件沿轴线包括一级罗茨转子体、中间轴体和二级罗茨转子体,一级罗茨转子体位于一级转子腔内,二级罗茨转子体位于二级转子腔内,中间轴体位于转子过孔内。本申请加工简单,既可以维持转子腔内高温,还可以对轴承腔有很好的散热,维护简单且方便。
主权项:1.一种双级罗茨真空泵,其特征在于,其包括泵体1、中隔板2和相互啮合的两个罗茨转子部件3,所述泵体1沿轴线包括一级泵体11和二级泵体12,所述一级泵体11与所述二级泵体12之间密封连接,所述一级泵体11设置有一级转子腔111、连通所述一级转子腔111和外界大气的进气口112以及与所述一级转子腔111连通的排气通道113,所述二级泵体12设置有二级转子腔121、连通所述二级转子腔121和外界大气的排气口122以及与所述二级转子腔121连通的进气通道123,所述排气通道113与所述进气通道123连通,所述一级转子腔111和所述二级转子腔121分别贯穿各自所在泵体朝向另一泵体的一侧,所述一级转子腔111和所述二级转子腔121之间通过所述中隔板2分隔,所述中隔板2上设置有转子过孔21,所述罗茨转子部件3的两端分别与所述一级泵体11和所述二级泵体12可转动连接,所述罗茨转子部件3沿轴线包括一级罗茨转子体31、中间轴体32和二级罗茨转子体33,所述一级罗茨转子体31位于所述一级转子腔111内,所述二级罗茨转子体33位于所述二级转子腔121内,所述中间轴体32位于所述转子过孔21内。
全文数据:
权利要求:
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