申请/专利权人:四川永祥光伏科技有限公司
申请日:2023-08-31
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN220846333U
主分类号:C30B15/10
分类号:C30B15/10;C30B29/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权
摘要:本实用新型提供了一种埚帮,涉及单晶硅制备技术领域,其包括:直壁,其内侧能够与石英坩埚的外侧壁相接触;连接在直壁下部的底壁,其内侧能够与石英坩埚的外底壁相接触;排气孔,开设在直壁的内侧上部;开设于直壁内侧的纵向导气槽,其一端与排气孔连通,另一端向下延伸。通过纵向导气槽的设置,能够将石英坩埚与直壁之间的气体向上引导至排气孔处排出,从而起到预防石英坩埚鼓包的作用,延长石英坩埚的使用寿命,保证生产的正常运行。
主权项:1.一种埚帮,其特征在于,包括:直壁,其内侧能够与石英坩埚的外侧壁相接触;连接在所述直壁下部的底壁,其内侧能够与石英坩埚的外底壁相接触;排气孔,开设在所述直壁的内侧上部;及开设于所述直壁内侧的纵向导气槽,其一端与所述排气孔连通,另一端向下延伸。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 四川永祥光伏科技有限公司 一种埚帮
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