申请/专利权人：科斯迈股份有限公司

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856501U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：一种储存仓系统，能供存放数个前开式晶圆传送盒，包含一个储存仓、至少一个设置于该储存仓内且用于放置所述前开式晶圆传送盒的储藏柜，及一个用于调控该储存仓内的温度、压力以及气体浓度的监控单元。该储存仓包括一个底座、一个沿该底座周缘向上延伸的围壁，及一个设置于该围壁上方的顶座，该底座、该围壁与该顶座共同界定形成密闭的容室。本实用新型储存仓系统可供所述前开式晶圆传送盒存放于氮气及恒温环境中。

主权项：1.一种储存仓系统，能供存放数个前开式晶圆传送盒；其特征在于：其包含：一个储存仓，包括一个底座、一个沿该底座周缘向上延伸的围壁，及一设置于该围壁上方的顶座，该围壁具有一个开口、一个封闭该开口的气密门，该底座、该围壁与该顶座共同界定形成一个密闭的容室；至少一个设置于该容室内且用于放置所述前开式晶圆传送盒的储藏柜；以及一个用于调控该容室内的温度、压力以及气体浓度的监控单元。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科斯迈股份有限公司 储存仓系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD